半導體設備材料擴容配套部件業待完善

半導體設備及材料產業被稱為半導體的支撐產業，每一次設備的推陳，每一次材料的出新，都深刻影響著半導體產業的發展。另一方面，半導體制造業的發展也必將帶動設備業的投資。2000年，中國IC產業的高速發展，使中國市場成為各大設備廠商尋夢的地方。而2005年，有關資料顯示，國內半導體設備投資額相比2004年下降了近50%，高昂的設備采購成本以及對半導體制造業的投資更加謹慎，都不同程度地影響著設備業的發展。

　　中國市場為“支撐”添力

　　不可否認，中芯國際對整個產業的帶動作用已經沒有前幾年明顯，但中國市場并不是沒有機會。今年1月19日，阜康同創(北京)微電子公司8英寸芯片項目啟動簽約儀式舉行，阜康同創8英寸芯片項目正式落戶北京林河工業開發區。在顯示領域，特別是TFT-LCD產業的發展，也不容忽視。京東方、上廣電、深天馬等TFT-LCD生產線的投資建設，也將為半導體設備的應用提供更廣闊的市場空間。

　　未來5年，我國集成電路市場將進一步擴大，年均增長速度預計將保持在20%左右，預計2010年市場需求額有可能達到9000億元。預計2005年到2010年，我國半導體分立器件產業與市場需求將分別保持年均約15%和8%的增長速度。到2010年我國半導體分立器件的產量將達到2200億只，銷售額達到1150億元。信息產業部電子信息產品管理司基礎產品處處長王勃華強調，隨著12英寸生產線陸續投入運行，半導體制造設備市場將繼續擴大，集成電路和半導體分立器件市場的需求必然會帶來產業的迅速發展并進而形成各種半導體設備的廣闊市場。

　　近年來，國內建起了多條太陽能電池模塊的封裝線，使太陽能電池的年生產量迅速增加，王勃華介紹，我國硅太陽能電池的生產能力已從3年前的十幾兆瓦迅速發展到目前的超過100兆瓦。面對我國太陽能電池產業的迅速發展以及太陽能電池用多晶硅產能的缺口，預計適于太陽能電池制造用和太陽能電池用多晶硅材料生產用的半導體設備市場需求也將保持高速增長。

　　國外廠商收獲忙

　　中國半導體市場良好的發展態勢，對全球半導體業有著重要的作用和貢獻，國外半導體設備生產廠商忙著在中國市場布局也就不足為奇了。有關市場調研公司的分析報告顯示，2004年中國市場半導體制造設備采購額大增了146%。

　　近年來，中國半導體市場對高端設備和先進技術的需求逐漸增長，這一特點在2004年表現得尤為突出。作為東京精密(Accretech)本地化公司，東精精密設備(上海)有限公司副總經理周雅萍認為，國際上知名的半導體生產廠陸續在中國建立生產基地，加速了中國半導體生產制作技術的提升，中國客戶對半導體設備的需求也發生了很大變化。周雅萍說：“在幾年前，客戶要求價格便宜工藝簡單的設備，通常客戶感興趣的設備為東京精密生產的低端產品。隨著中國客戶半導體生產工藝水平的提升，中國客戶對先進的生產設備需求不斷增加。”

　　對于先進技術，中國市場與歐美市場的需求是相同的。對此諾發(Novellus)公司亞太區運營高級副總裁Chen Fusen認為，為了迎接IC制造方面的挑戰，設備制造商需要擴展其現有設備的生產能力和設備的使用壽命，假如沒有出眾的技術，要在一兩個制造節點的平臺可延伸性方面領先通常是不可能的。他說：“在美國和歐洲那些成熟的市場的確是這樣，在中國這樣新出現的市場也不例外。”在去年年初，Novellus把第一臺SABRE 300mm銅電鍍設備裝運到一家領先的中國代工廠。

　　對于今后的市場，各大廠商雖然各執一詞，但無論如何，中國市場仍將是這些國際半導體設備廠商的重要戰略市場。

　　加快本地化進程

　　2006年，全球半導體工業將開始進入65nm器件量產，而設備廠商也將進入到45nm及以下設備的研發，由于研發投入加大，設備廠商風險增加，另一方面，芯片制造等設備采購商，要求設備降價的壓力也越來越大。

　　近年來，設備的價格越來越高，雖然2005年后稍有些回落，但業界普遍反映仍不能承受。半導體設備領域資深人士莫大康介紹，一套先進的光刻機加上涂膠顯影軌道設備，至少要2000萬美元，如果要做關鍵的光刻層，采用濕法，大數值孔徑的193nm光刻機，那價格還要至少高出500萬美元至1000萬美元。分析原因，莫大康認為，現在的設備不但硬件要先進復雜，更主要的是購買設備后能保證實現一定的工藝技術，為此設備廠商要開展先進工藝技術的研發，花費是十分巨大的。天下沒有免費的午餐，龐大的研發費用都會分攤在每臺設備的售價之中，因此設備賣的越多，其分攤的研發費用越薄，只有當研發費用分攤凈后，設備價格才可能降下來，所以設備的銷售數量是關鍵。然而進入12英寸、65nm后能夠支付得起的客戶，購買設備的數量十分有限，所以設備價格可能下降的空間并不大。

　　作為設備廠商，也面臨兩難的局面，如果不跟隨摩爾定律，則意味著馬上出局，但是真要緊跟上去，龐大的研發費用又支付不起，并且很難得到應有的回報。

　　面對現實的困難局面，作為設備廠商在近時期能做到的是努力設法降低設備的制造成本，子系統及零部件的本地化采購將有助于降低設備生產成本。在中國發展設備配套部件產業，在完善中國半導體制造產業鏈的同時，也將有助于國際設備供應商整體競爭力的提高。

　　編輯點評

　　應給予國產設備更多關注

　　經過多年的發展，國產半導體設備行業已經取得了很不錯的成績：在半導體前道工序用擴散爐、快速熱處理設備。清洗機、勻膠顯影設備等；后道工序中的劃片機、塑封機、部分模具等；材料制備設備中的單晶爐、研磨機、拋光機，部分凈化設備和試驗設備，其中一些國產設備已經日漸成熟，并且已經有設備被用到國內集成電路生產線中。

　　盡管如此，國產設備進入國內大生產線仍然很難，因為集成電路產業發展太快，設備還沒用舊，產品就更新換代了，國內半導體設備企業跟不上市場變換的節奏，因此集成電路生產線幾乎被國外廠商的產品壟斷。因此，國產設備要想得到發展必須要到大生產線上“驗明正身”，為此，業內不少人士呼吁，國內的集成電路大生產線要用國內的設備，給國內設備企業一些機會。當然，前提是要加強國內各設備生產企業的開發能力，不斷開發新工藝設備，以滿足生產線的需要。

　　除了進入大生產線，國產設備業的發展還要多方扶持，尤其是國家應該在政策、資金、關稅等方面對國產半導體設備行業有所傾斜：系統研究振興我國半導體和集成電路專用裝備制造業的有關政策；鼓勵國內裝備制造企業、專用裝備用戶企業和資金進入半導體和集成電路專用裝備制造業；在稅收上應給予和國外進口設備同樣的條件。